中國計量大學機電工程學院導師：嚴天宏 正文

　　基本信息
　　姓名：嚴天宏
　　性別：男
　　學位：博士
　　職稱：教授
　　一級學科：控制科學與工程
　　二級學科：檢測技術與自動化裝置
　　二級學院：機電工程學院
　　一級學科2：機械工程
　　二級學科2：機械設計及理論
　　研究方向：動力學分析與優化、模態分析與測試、振動與噪聲控制、精密機電系統與伺服控制
　　辦公地點：仰南207-1
　　辦公電話：0571-86914578
　　Email：yanth@163.com

　　在研課題
　　[1] 2010年6月獲批 浙江省“杰出青年”基金資助；
　　[2] 2010年9月“高速超精系統的耦合動力學建模與誤差補償模型研究”獲批國家自然科學基金資助（2011.1-2013.12）；
　　[3] 2010年11月，獲得流體動力與機電系統國家重點實驗室開放基金資助；
　　[4] 2011年01月，獲得數字制造與裝備技術國家重點實驗室開放基金資助；
　　[5] 2011.03 某大型叉車的振動傳遞及模態分析測試及動力學優化；
　　[6] 2013.03 某大型的護頂架焊接變形分析與預測及關鍵控制參數研究．
　　等

　　獲獎情況
　　1．2006 年1月 被 上海微電子裝備有限公司 評為“先進員工”；
　　2．2006年8月 獲得上海“浦江人才計劃”（A類資助），于2008年8月獲評“出色地”完成了任務；（★）
　　3．2008年1月，主持的863重大專項子項目“光刻機機電聯合仿真與虛擬試驗臺”被評為優秀科技成果獎；
　　4．2008年1月，主持的863重大專項子項目“超精密主動減振控制與智能診斷平臺”被評為優秀科技成果獎；
　　5．2008年1月 獲得 教育部“自然科學獎”（一等獎）一項；（★）
　　6．2010年01月，獲得浙江省新世紀151人才工程資助（第三層次）。（★）
　　7．2011年01月，獲得浙江省新世紀151人才工程資助（第二層次）。（★）
　　8．2011年01月，獲評校“先進科技工作者”；
　　9．2011年01月，獲評校“優秀班主任”；

　　近期發表的主要成果
　　Selected Recent Publications：（標*為通信作者）
　　1．T.H. Yan*, B.He, X.D. Chen, X.S.Xu, 2013. Discrete-Time Sliding Mode Control With Computation Time Delay And RRO Compensation For Hard Disk Drives. Mathematical Problems in Engineering, An International Journal. Vol.2013, Paper ID, 2013 (SCI, IF= 0.777). In Pressing
　　2．B.He, B.R.Wang, T.H.Yan, Y.Y. Han, 2013. A Distributed Parallel Motion Control for the Multi-thruster Autonomous Underwater Vehicle, Mechanics Based Design on Structures and Machines, An International Journal. Vol. 42 (2): 236-257, 2013 (SCI, EI).
　　3．T.H.Yan*, X.S. Xu, J.Q. Han, et al, 2011. Optimization of Sensing and Feedback Control for Vibration/Flutter of Rotating Disk by PZT Actuators via Air Coupled Pressure. Sensors. 2011; 11(3):3094-3116.(SCI,IF=1.774)
　　4．X.S.Xu, T.H. Yan*, X.Z.Tao, T.R. Zhu, D.Li, 2012, Generating NC Program based on Template for Mass Customization Product, Assembly Automation, Vol.32(3): .(SCI, IF=0.645)
　　5．J.Q.Han, X.F.Wang, T.H.Yan, X.B.Song, et al. 2012, A Novel Method of Temperature Compensation For Piezoresistive Microcantilever-Based Sensors, Review of Scientific Instruments, 83(3):035002/1~6 (SCI, IF=1.598)
　　6．B.He, S.J.Zhang, T.H. Yan*, Tao Zhang, Y. Liang, H.J. Zhang, 2011. A Novel Combined SLAM Based on RBPF-SLAM and EIF-SLAM for Mobile System Sensing in a Large Scale Environment, Sensors, Vol.11(3), pp.10197-10219. (SCI,IF=1.774)
　　7．B.He, H.J. Zhang, C.Li, S.J. Zhang, Y. Liang, T. H. Yan*. 2011. Autonomous Navigation for Autonomous Underwater Vehicles Based on Information Filters and Active Sensing. Sensors. Vol.11(11):10958-10980 (SCI,IF)
　　8．T.H.Yan, H.Y.Pu, X.D.Chen, Q.Li, C.Xu, 2010, Integrated Hybrid Vibration Isolator with Feedforward Compensation for Fast High-Precision Positioning X/Y Tables. IOP Journal of Measurement Science and Technology. 2010; Vol. 21(6): 065901-065910. (SCI, EI)
　　9．T.H.Yan, et al, 2010, The Discrete-time Sliding Mode Control for High-Precision Stages of Micro-Electronics Equipments, Control Engineering (Chinese Journal), Vol. 17(4): 430-435.
　　10．T.H.Yan, H.Y.Pu, Q.Li, C. Xu, X. D. Chen, 2010, Dynamic Absorber Design for Actuator Arm of Hard Disk Drives on Impact Resist Improvement. Mechanics Based Design on Structures and Machines, An International Journal. Vol.38 (1): 50-73 (SCI, EI).
　　11．J.Lei, X.Luo, X.D. Chen, T.H.Yan, 2010, Modeling And Analysis of A 3-DOF Lorentz-Force-Driven Planar Motion Stage For Nanopositioning, Mechatronics, Vol.20(5), pp.553–565, 2010 ( SCI, EI)
　　12．T.H.Yan, C.Xu, Q.Li, X.D. Chen, 2010, Experimental Study on Multisensing Control with Vibration Control for High-Precision X/Y Stages, The 10th WSEAS International Conference on ROBOTICS, CONTROL and MANUFACTURING TECHNOLOGY (ROCOM '10), Hangzhou, China.
　　13．T.H.Yan, W.Wang, X.D.Chen, Q.Li, C.Xu, 2009, Design of a Smart Ultrasonic Transducer for Interconnecting Machine Applications. Sensors. 2009; 9(6):4986-5000. (SCI, EI)
　　14．T.H.Yan, X.D.Chen, R.M.Lin, 2008, “Servo System Modeling and Reduction of Mechatronic System Through Finite Element Analysis for Control Design”, Mechatronics, Vol.18 (9):466-474, 2008. (SCI, EI)
　　15．T.H.Yan, X.D.Chen, W.F.Dou, R.M.Lin, 2008, “Feedback Control of Disk Vibration and Flutter by Distributed Self-Sensing Actuators”. Mechanics of Structures and Machines, An International Journal. 36(3): 1-23, 2008 (SCI, EI)
　　16．T.H.Yan, X.D.Chen, R.M.Lin, 2007, “Vibration Interaction Characteristics of Disks-Spindle in Hard Disk Drives”. An International Journal for Mechanics Based Design of Structures & Machines. Vol.35 (1): 97–112, 2007. (SCI, EI)
　　17．T.H.Yan, R.M.Lin, 2006, “General Optimization of Sizes or Placement For Various Sensors/Actuators in Structure Testing and Control”. IOP Journal of Smart Material and Structures. Vol. 15(1), 2006. (SCI, EI)
　　18．T.H.Yan, G.W.Zhang, R.M.He, 2006, “New Progresses on Dynamics, Vibration & Control.” (Book in Chinese) Chapter: Integrated Hybrid Vibration Isolating Technology for High-Precision Semiconductor Equipments.” Beijing: China National Astronautics Press, July 2006. (PDF)
　　19．T.H.Yan, W.Chen, 2005, “Quasi-Rigid Mode of Bond Head Assembly in Wire Bonding Machines and its Improvement”. An International Journal for Mechanics Based Design of Structures & Machines. Vol.33 (4) 2005. (SCI, EI)
　　20．T.H.Yan, R.M.Lin, 2004, “Dual-Mass Absorber for the Head Actuator Assembly of Hard Disk Drives”. An International Journal for Mechanics Based Design of Structures & Machines. Vol. 32(2), 2004. (SCI, EI)
　　21．T.H.Yan, R.M. Lin, 2003, ”Experimental Investigation on Pivot Nonlinearity and Accurate Compensation for Servo Control in Hard Disk Drive.” IEEE Transactions of Magnetics. Vol.39(2), March 2003.(SCI, EI)
　　22．T.H.Yan, R.M.Lin, 2004, “Vibration Characteristics of Disks-Spindle System Interaction In Hard Disks.” IEEE/ASME Asia-Pacific Magnetic Recording Conference Korea, 2004.
　　23．T.H.Yan, R.M.Lin, 2002, "Finite Element Modeling and Modal Testing of Vibration Characteristics of Disk Drives.” International Modal Analysis Conference (IMAC)-XX, Los Angeles, California USA, Feb.4-7, 2002.
　　24．T.H.Yan, R.M.Lin, 2002, "Servo system modeling and Reduction for Hard Disk Drives through Finite Element Method.” ASME 13th International Symposiums for Information Storage and Processing System, Santa Clara, California USA, Jun.17-18, 2002.
　　25．T.H.Yan, R.M.Lin, 2002, “Discrete-Time Sliding Mode Control With Computation Time Delay And RRO Compensation For Hard Disk Drives.” IEEE/ASME Asia-Pacific Magnetic Recording Conference 2002, Singapore, Aug. 26-28, 2002.
　　26．T.H.Yan, R.M.Lin, 2002, “Discrete-Time Sliding Mode Repetitive Control for Track-Following System of An Optical Disk Drives.” IEEE/ASME Asia-Pacific Magnetic Recording Conference 2002, Singapore, Aug. 26-28, 2002.
　　27．T.H.Yan, R.M.Lin, 2002, “Feedback Control of Disk Vibration and Flutter by Distributed Self-Sensing Actuators.” IEEE/ASME Asia-Pacific Magnetic Recording Conference 2002, Singapore, Aug. 26-28, 2002.
　　28．R.M. Lin, Y.Y. Wang, T.H.Yan, J.Y.Zhou, 2001, “Compensation for Mechanical Resonance in Head Actuator Assembly of Hard Disk Drives by Multi-Sensing Control.” Technical Report for Industry Project (SONY Singapore Resaerch Lab). Oct. 2001. Totally 104 pages.
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　　******Some Papers Published During Tutoring the Master/PhD Candidates*****:
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　　29．X.D.Chen，X.Z.Yu, X.M.He, T.H.Yan et al. 2008, Dynamic characteristic analysis of precision long stroke linear motor with air-bearing in optical lithography. Chinese Journal of Mechanical Engineering(English Edition). Vol.21 (2), 2008.
　　30．X.D.Chen，H.Z. Guo, T.H.Yan，X.Z.Yu. 2007, The dynamics characteristic and optimization of the Main Plate of Lithography Equipment. Mechanical Engineering of China (In Chinese). Vol.18(21), 2007.
　　31．Y. Sun, X.D.Chen, T.H.Yan, W.C.Jia, 2006, Modules Design of a Reconfigurable Multi-Legged Walking Robot, IEEE International Conference on Robotics and Biomimetics, 2006. ROBIO'06. On page(s): 1444-1449, ISBN: 1-4244-0570-X
　　32．W.C.Jia, X.D. Chen, T.H.Yan, Y.Sun, M.H.Zhou, 2006, Biological Modeling Control of a Multilegged Walking Robot, IEEE/RSJ International Conference on Intelligent Robots and Systems, 2006, On page(s): 5737-5742, ISBN: 1-4244-0259-X.
　　33．X.D.Chen, W.Jiang, T.H.Yan, 2008,“Symbolic Formulation of Linearized ODEs via Matrix Transformation for Vibration Analysis of Multibody Systems” Chinese Journal of Mechanical Engineering. Vol44(6), June 2008.
　　34．T.J. Li, T.H.Yan, X.F.Zhang, 2007, Dynamic Analysis And Simulation of A Spherical Omni-directional Rolling Robot, Journal of Xidian University, Vol.34, No.3: 414 ~ 417,471, 2007.
　　35．T.J.Li, F.J.Wang, T.H.Yan, 2008, Case-based Reasoning Method for Fault Recovery with Expanded Similarity Space, Journal of Xidian University (Natural Science), Vol.35(3):499-503, June 2008.
　　36．S. Y. Zhang, X. D. Chen, H. Zhao, T.H. Yan, 2008, Motion Control of a Precise Wafer Stage, Chinese Journal of Mechanical Engineering, Vol.19, No.12: 1474-1479. June 2008.
　　37．T.J.Li, T.H.Yan etc, 2007, Dynamic Modeling and Simulation of Spherical Omnidirectional Rolling Robot, Journal of System Simulation, Vol.19, No.18：4239 ~ 4242, 2007.
　　38．S. Y. Zhang, X. D. Chen, H. Zhao, T.H.Yan, 2008. Motion Control of Super Precision Stage, Journal of Huazhong University of Science & Technology, Vol.36 (10): 37-40. June 2008.
　　39．X. S. Xu, X. Cheng, T. H. Yan, 2011, Methods on Parameter Calibration and Tolerance Identification of Master Product Variant Model. Journal of Mechanical Engineering (Chinese), Vol.47(1): 132-137, Jan 2011.……
　　等等
　　
　　申請的專利（包括第二作者及以后）：
　　發明專利（34）項：（近4年內發明授權19項）
　　01．200710173581.9 一種剪式提升裝置
　　02．200710172427.X 一種工件臺平衡質量定位系統（2011-6-15授權）
　　03．200710172429.9 工件臺平衡質量定位系統
　　04．200710173146.6 單孔形標記對準信號處理方法
　　05．200710173575.3 光刻設備的探測裝置與探測方法
　　06．200810033058.0 一種抓手角度可調的夾取裝置
　　07．200710172938.1 基于自適應糾正處理提高對準信號處理精度的方法（2009.11.11授權）
　　08．200710045581.0 一種精密提升裝置
　　09．200510026019.4 一種精密減振和定位裝置
　　10．200510029686.8 一種隨機響應信號測量與分析的方法
　　11．200510112113.1 一種精密定位和調整工裝（2009.6.24授權）
　　12．200610025895.X 一種復合減振式光刻裝置（2009.3.11授權）
　　13．200610147842.5 懸掛式支撐成像系統及光刻裝置
　　14．200710040650.9 一種傳輸控制裝置及其控制方法（2010.6.9授權）
　　15．200710040997.3 一種多鏈接傳輸控制方法
　　16．200710041769.8 一種旋轉交換的雙臺系統（2009.6.24授權）
　　17．200710042417.4 光刻機工件臺平衡定位系統（2009.5.27授權）
　　18．200710043324.3 垂向微調及重力補償裝置與光刻機（2010.1.6授權）
　　19．200710041226.6 光刻機工件臺平衡定位系統（2009.8.12授權）
　　20．200710044559.4 光刻裝置的對準方法及系統（2009.8.12授權）
　　21．200710044848.4 脈沖信號的逼近方法 （2009.6.24授權）
　　22．200710046060.7 氣缸活塞減振裝置（2009.6.24授權）
　　23．200810036911.4 二維編碼歸一化對準標記組合及其對準方法和對準系統（2011.5.11授權）
　　24．200810036910.X 歸一化對準標記組合及其對準方法和對準系統（2011.5.11授權）
　　25．200810038391.0 光刻設備的探測裝置、探測方法及制造方法（2010.6.2授權）
　　26．200810037649.5 六自由度微動臺（2010.6.9授權）
　　27．200810200646.9 脈沖波強度采樣同步的校準方法與系統
　　28．200810200919.X 主動減振系統及其預見控制方法（2010.10.27授權）
　　29．200810200647.3 信道增益數字均衡自適應校準系統與方法（2011.11.30授權）
　　30．200810201311.9 主動減振隔振裝置及主動減振隔振系統（2010.6.9授權）
　　31．200810200917.0 一種同軸度檢測裝置
　　32．200910045207.X 一種減振支撐裝置
　　33．200780050936.3 可逆極性解碼器電路及相關方法
　　34．201010121928.7 一種活塞往復式壓縮機“無余隙”機型的分體型吸氣閥體及安裝方法

　　實用新型專利（7）項：
　　35．200720074739.2 活塞氣缸減振機構
　　36．200720076163.3 垂向微調及重力補償機構
　　37．200620041223.3 一種可以轉出的帶有記憶功能的六自由度精密調節裝置
　　38．200620049444.5 一種柔性支撐機構
　　39．200720067425.X 一種大阻尼精密柔性支撐機構
　　40．200720076162.9 一種工件臺平衡定位裝置
　　41．200720076166.7 一種精密提升裝置
　　帶領課題組共申請專利41項，其中34項發明專利，19項發明專利業已授權。

　　主持完成的科研項目
　　主持和主要參與完成的項目：
　　（1）100nm步進掃描光刻機研制（2004-2008）（十五與863重大專項，主要參與，負責整機系統的動力學仿真與機電控制一體化優化，以及精密減振系統設計與研制）；
　　（2）雙軸驅動高速高精工件臺研制（2006上海浦江人才計劃A類，06PJ14020，主持完成）；
　　（3）高速高精運動的生成與控制（國家973計劃，2003CB716206）；（參與）
　　（4）超精密主動氣浮減振控制與智能診斷平臺（國家863重大專項子項目，主持完成）；
　　（5）光刻機機電聯合仿真與虛擬試驗臺（國家863重大專項子項目，主持完成）；
　　等等。

　　個人簡歷
　　男，1971年5月生于內蒙烏蘭浩特市。1999年3月于哈爾濱工業大學航天學院，獲得博士學位。主要從事高速高精機器與復雜設備系統的動力學建模與優化、結構工程及振動控制等方面的研究。在實際工作中，已陸續參加和主持了國內外（科技部、中國航天科技集團，中科院重大知識創新、新加坡政府、世界第一大半導體封裝設備供應商ASM亞太研究中心，上海微電子裝備有限公司等），某大型叉車的模態分析、測試、振動傳遞機理及動力學優化等多項大型高新項目的研究，參加和承擔過國家十五與863重大專項，承擔2項有關的重大專項的子項目，如水下無人巡航機器人、后道微電子封裝設備（如引線鍵合機、注塑封裝機等）、前道制造設備（100nm光刻機）的研究工作，在業內從事超精密半導體制造設備研制工作多年，攻克了許多技術難關。2009年以來與中國海洋大學水下機器人項目組合作，擔任合作教授，已積累較多的工程經驗，發表高水平的學術論文60余篇，其中SCI收錄近20余篇（其中第一作者16篇）， 申請了近40項高水平的發明專利，其中19篇業已授權，多次受邀參加國內外舉辦的高水平的學術會議，并受邀為國際有影響的學術雜志，如IEEE Transactions on Magnetics、IEEE Transactions on Control System Technology與IEEE Transactions on Automation Science and Engineering，IEEE Trans on Industrial Electronics等多種知名雜志之特約審稿人等。于2006年8月獲上海浦江人才計劃資助的項目“雙軸驅動高速高精工件臺研制”（A類），在2008年8月獲評“出色地”完成；2008年1月曾榮獲教育部自然科學獎一等獎（第二完成人）等多個項目獎。

　　*如果發現導師信息存在錯誤或者偏差，歡迎隨時與我們聯系，以便進行更新完善。

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